Laserpuhastus pooljuhtide tööstusele

Kuna pooljuhttehnoloogia kahaneb, on täiustatud integraallülitusseadmed muutunud tasapinnalistest kolmemõõtmelisteks struktuurideks. Integraallülituse tootmisprotsess muutub järjest keerukamaks, nõudes sageli sadu või isegi tuhandeid protsessietappe. Täiustatud pooljuhtseadmete valmistamisel on pärast iga protsessi räniplaadi pinnal rohkem või vähem tahkete osakeste saasteaineid, metallijääke või orgaanilisi jääke. Seadme funktsioonide suuruse pidev kahanemine ja kolmemõõtmeliste seadmete struktuuride suurenev keerukus on muutnud pooljuhid Seadmed on osakeste saastumise, lisandite kontsentratsiooni ja koguse suhtes üha tundlikumad.

Kõrgemad nõuded on seatud räniplaatide maskipinnal olevate saastunud osakeste puhastustehnoloogiale. Peamine punkt on ületada saastunud osakeste ja substraadi vaheline tohutu adsorptsioonijõud. Praegu kasutavad paljud pooljuhtide tootjad happepuhastusmeetodeid. Pesemine ja käsitsi pühkimine pole mitte ainult ebatõhusad, vaid tekitavad ka teisest reostust. Niisiis, milline puhastusmeetod on praegu sobivam pooljuhttoodete puhastamiseks? Laserpuhastus on praegu sobivam meetod. Kui laser skaneerib üle, eemaldatakse materjali pinnalt kogu mustus ja mustus tühimikest. Seda saab kergesti eemaldada, see ei kriimusta materjali pinda ega põhjusta teisest reostust. See on turvaline valik.

Lisaks on integraallülitusseadmete suuruse vähenemise tõttu puhastusprotsessi käigus tekkinud materjalikadu ja pinnakaredus muutunud probleemideks, millele tuleb tähelepanu pöörata. Osakeste eemaldamine ilma materjalikao ja mustrikahjustusteta on kõige põhinõue. Laserpuhastustehnoloogial on ainulaadne kontakt, termiline efekt, puhastatava objekti pinnakahjustus ja sekundaarne reostus, mis on traditsiooniliste puhastusmeetodite võrreldamatud eelised. See on parim puhastusmeetod pooljuhtseadmete reostuse lahendamiseks.